硅光子学集成MEMS与标准化技术


一个新的技术论文发表的题为“硅光子集成MEMS”人员EPFL,悉尼大学,CSEM, k皇家理工学院,根特大学Imec, Tyndall国立研究所。抽象的摘录”在这里,我们介绍一个硅光子MEMS平台组成的高性能nano-opto-electromechanical设备完全集成与standar……»阅读更多

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