如何提高沉积为大规模生产工具的可用性。
目前,SiGe-B外延是pmo的领先技术诱导应变通道,提高空穴迁移率达到更好的设备性能。在实践中,我们观察到设备性能强烈依赖于掺杂剂浓度,特别是硼浓度。结果表明,声学控制系统(ACS)能够积极应对瞬时变化的气体,实现更好的掺杂剂控制。在本文中,我们报告减少硼浓度变化使用ACS SiGe-B外延技术。
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球继续减少,但是需要新的工具和技术。
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蚀刻工具变得更特定于应用程序的,每个新节点要求更高的选择性。
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