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技术论文

High-Temperature-Stable,自旋对碳材料High-Aspect-Ratio Gap-Fill应用程序

小说,high-temperature-stable旋涂碳(SOC)的材料具有优良的加工性能。

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布鲁尔科技公司开发了一个类的小说,high-temperature-stable旋涂碳(SOC)的材料具有优良的加工性能。这些soc治愈在温和条件下和流动特性,使填充high-aspect-ratio通过紧密的方式。此外,这种新的soc具有显著的热稳定性,能生存的温度高达550°C,只有最小的收缩/质量损失。这些出类拔萃的属性使他们理想的候选人在高温过程中被利用,如心血管疾病和金属沉积。

琼斯假虎刺属、黄Runhui乔伊斯洛斯,肖恩·西蒙斯和Xing-Fu钟的布鲁尔科学,Inc .,罗拉,密苏里州,美国

发表于:2021年第32半先进半导体制造年会(ASMC)
会议日期:2021年5月10 - 12

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