权衡所参与定义一个新的曲线数据格式,以减少文件大小?
曲线生成的数据大小面具会影响周转时间(乙)光掩模生产,因此采用曲线的面具。在曲线掩盖之前的博客,我们的名人小组讨论一些可能的解决方案视频讨论。在这个第七个视频专家组考察一些想法,定义一个新的曲线数据格式,以减少文件大小。阿基》的d2打开小组讨论问题的解释对于那些不熟悉讨论。他说明了根本的挑战曲线数据格式在交易数据大小和精度,然后转向如何简洁的小组解决问题表示与无限的分辨率曲线通过使用一个数学技术。
平Nakayamada NuFlare技术发表了大量论文的主题一个曲线的数据格式和解释的发展随着时间的推移NuFlare面具作家格式如图1所示。最新的格式,MBF 2.0,介绍了洞和b样条曲线来支持曲线面具。根据NuFlare, MBF 2.0相比减少了数据大小MBF 1.1的2 - 3倍的边缘位置误差(EPE) 1 nm宽容。
图1:NuFlare技术MBF 2.0数据格式包括b样条曲线来支持曲线面具与简化数据的大小。
丹平彭台积电欢迎行业合作这个话题。他认为的合理表示数据和可接受的数据大小将促进接受曲线的教师和面具。Ezequiel罗素从微米技术同意还强调指出,EPE预算准确性的重要性已经紧当移动到高级节点。因此,一个新的曲线格式需要避免引入新的EPE误差的来源。阿基》进一步解释说,有一个平衡的努力编码b样条曲线的算法和精度。与此同时,在行业的持续合作,想出一个被广泛接受的曲线数据格式。
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