KLA使用原型工程系统对I-PAT进行概念验证研究的结果。
在质量至关重要的应用领域，汽车的半导体含量正在迅速增长，汽车制造商已率先将“零缺陷”的理念引入其供应链。这篇论文背后的动机始于与半导体供应商以及汽车制造商的合作，KLA见证了许多杀手缺陷通过测试的明显例子，并有可能进入汽车供应链. . . .通过插入补充的在线检测屏幕，在线部件平均测试(I-PAT)可以帮助阻止不正常的晶圆和隔离非常有缺陷的模具。在过去的两年中，KLA已经使用原型工程系统对I-PAT进行了概念验证研究。这些研究在5家汽车半导体集成器件制造商(idm)和代工厂进行，包括具有嵌入式存储器的逻辑器件、模拟器件和硅和碳化硅的功率半器件，范围从40到350nm设计规则。
作者:Oreste Donzella, John C. Robinson, Kara Sherman, Justin Lach, Mike von den Hoff, Barry Saville, Thomas Groos, Alex Lim, David W. Price, Jay Rathert, Chet Lenox
半导体制造的计量、检验和过程控制XXXV;1161107 (2021)https://doi.org/10.1117/12.2584770
活动:SPIE先进光刻技术，2021年，仅在线
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