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夹在金属衬底和电极之间的氧化铪基薄膜的稳定


弗吉尼亚大学、布朗大学、桑迪亚国家实验室和橡树岭国家实验室的研究人员发表了一篇题为“通过夹紧效应在铁电铪氧化锆薄膜中稳定铁电相的起源”的技术论文。资金由美国能源部三维铁电微电子能源前沿研究中心和SRC提供。“这项研究……»阅读更多

高NA EUVL薄阻的计量


高数值孔径极紫外光刻(high NA EUVL)的诸多限制之一与阻光剂厚度有关。事实上,从当前的0.33NA转移到0.55NA(高NA)的后果之一是焦点深度(DOF)的降低。此外,当抗蚀剂特征线缩小到8纳米半间距时,必须限制纵横比以避免图案崩溃。T…»阅读更多

基于结晶Rubrene薄膜的有机双极晶体管


新的技术论文题为“有机双极晶体管”,来自Technische Universität德累斯顿,NanoP, Technische Hochschule Mittelhessen,应用科学大学和ALBA同步加速器的研究人员。抽象(部分)“在这里,我们展示了具有出色器件性能的有机双极晶体管:以前描述过的垂直结构和高度结晶的有机rubrene……»阅读更多

麻省理工学院研究人员发明薄膜扬声器


麻省理工学院的新学术论文,“基于压电微穹阵列的超薄柔性扬声器”。摘要:超薄、轻量化、高性能、低成本和高能效的扩音器对于传统音频系统和新兴应用(如主动噪声控制和沉浸式娱乐)都越来越有吸引力。»阅读更多

EUV光刻用薄膜电阻率和发射率的研究


汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术论文。“薄膜是一种薄膜结构,可以保护极紫外(EUV)口罩在曝光过程中不受污染。然而,由于EUV光子的吸收,其有限的透光率会引起不必要的加热。通过改善EUV膜的稳定性,可以避免EUV膜的破裂。»阅读更多

集成了大规模集成电路和非晶金属氧化物半导体薄膜突触装置的神经形态芯片


来自奈良科学技术研究所(NAIST)和龙国大学的新学术论文。摘要人工智能是未来社会的发展方向,神经网络是具有自组织、自学习、并行分布式计算、容错等优点的典型技术,但其规模和功耗较大。神经形态体制……»阅读更多

用于高级模式化的薄膜表征


作者:朱志敏;Xianggui你们;肖恩·西蒙斯;凯瑟琳弗兰克;蒂姆娼妓;James Lamb Brewer Science, Inc.(美国)可变角度光谱椭偏仪(VASE)是测量薄膜厚度及其n和k光学参数的必备工具。然而,对于小于10纳米的薄膜,精确测量是非常具有挑战性的。在本文中,根本原因是……»阅读更多

离子束溅射沉积氟化物薄膜


用于深紫外波长的薄膜涂层主要是通过蒸发法(热法和电子束法)生产的。限制蒸发膜性能的因素包括表面粗糙度、孔隙度、吸收和缺陷密度。为了增强薄膜,它们通常在较高的衬底温度(超过300°c)下沉积。热应力造成了…»阅读更多

非传统芯片正在崛起


柔性混合电子产品开始以医疗设备、可穿戴电子产品,甚至零售领域的近场通信标签的形式推出,为电路设计、制造和包装的全新浪潮奠定了基础,这远远超出了传统芯片的范围。FHE设备开始与基板制成的陶瓷,玻璃,塑料,聚酰亚胺,聚合物,多晶硅,不锈钢…»阅读更多

电源/性能位:5月23日


加州大学洛杉矶分校和康涅狄格大学的研究人员设计了一种生物超级电容器,这是一种新的生物友好储能系统,它利用人体液体中的离子来运作。研究人员说,这种设备对人体的生物系统无害,并可能导致更持久的心脏起搏器和其他植入式医疗设备。supercapa……»阅读更多

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