制作曲线掩模的能力和多波束掩模写入器的可用性今年不是一个问题。
eBeam倡议从2022年7月开始的第11届年度名人调查显示
•EUV被视为对掩模收入的积极影响•EUV仍然是购买多波束掩模写入器的首要原因•随着多波束掩模编写器的可用性，今年对制作曲线掩模的能力仍然有很高的信心
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