减少缺陷的电影更好的产量和生产的结果。
的多层系统用于光刻由区域碳层下hardmask etch-transferring层和限制标准光刻胶涂层。在过去,布鲁尔科学深入讨论了多层系统如何帮助延长ArF(193海里)浸没式光刻比重能够打印和传输特性,确保足够的窗口过程尤其是地形”先进材料高温过程的集成。”布鲁尔科学正在努力开发一行Si-HM产品来满足新的挑战将在实现EUV和多模式的高级节点超7和5海里而实现“零缺陷”的政策。
如果Hardmask (Si-HM)计量
hardmask层,也称为层,中间是一层薄薄的无机层,通常与高硅含量,提供了必要的刻蚀选择性一层光刻胶图案转移到更深层的基础结构。尽管这一层可以沉积使用化学气相沉积(CVD),一个自旋对Si hardmask (Si-HM)提供了一个更简单和更灵活的过程。它可以覆盖整个多层堆栈,暴露,和在一个集成的开发跟踪和扫描系统,它可以降低不同模块之间传输晶片的复杂性。与心血管疾病相比,它通常需要低温(< 250°C)过程中环境空气条件下,这意味着没有特别室,真空或惰性环境是必要的。
Si-HM超过15年的供应商,布鲁尔科学已经见过这个产品未来继续发展的关键作用超出7和5 nm节点。在过去2 - 3年,我们见证了EUV插入大批量生产(HVM)。当前设计规则将EUV在其决议工作限制它看到第一个节点。我们谈论的是一个通过的EUV接触打印20海里接触孔(或柱)和14纳米半个球场L / S CD一致性(CDU)好的,线宽粗糙度(轻水反应堆),足够的过程窗口(没有崩溃或浮渣),当然没有缺陷。(见下面的图片为例。)考虑到低photo-density EUV,导致高的散粒噪声,推测学缺陷(随机non-predictable缺陷和缺少模式)正变得比以往更难控制。Si-HM充当第一光刻胶后腐蚀停止/屏蔽层成像和发展。每个缺陷模式在抵抗/ Si-HM接口,在Si-HM电影,在腐蚀和生成的转移将会传递,甚至强调通过后续蚀刻步骤,最终进入设备本身。受益于整个过程在本质上是一个“没有缺陷”Si-HM在每一层的开始。
图1:20海里接触孔印刷- CD一致性(CDU)和defectivity极小规模的挑战。
过滤
十亿分之一的不良率会导致产量损失10%,因此我们争取超过“零缺陷。“每个物质沿着供应链必须在最终的芯片质量等级是可用的。布鲁尔科学在研究和开发上与其他行业领导人合作,提升标准完善生产过程减少缺陷。多年来,我们实现了多路径净化和过滤技术能够将金属离子污染推向part-per-trillion (ppt)水平,降低液体粒子的存在和其他凝胶形成先进的计量检测的最低限制。
解决“溶胶-凝胶”问题——新化学设计
布鲁尔科学目前正在审查其Si-HM产品线在化学层面上测试和了解每个形成化学键。一步的Si-HM涉及到一个复杂的化学“溶胶-凝胶”的过程。典型的“溶胶-凝胶”过程包括将单体转换成胶体溶液(sol)作为一个集成的网络(凝胶)的前体。然而,半导体过程不需要“索尔”或“凝胶”——缺陷的来源。相反,需要一个没有缺陷的,高均匀10 - 50纳米薄膜在整个12英寸晶圆。“溶胶-凝胶”的过程,更重要的是,如果控制不好,将呈现一个产品仍处于一个动态的化学反应平衡。它可以通过由客户定义的所有规格,但安装在跑道上时,一个缺陷可以达到客户的线在最意想不到的时刻。产量影响事件时发现,为时已晚,很难跟踪的原因。
压力测试
布鲁尔科学设计OptiStack HM系列材料与这个特定的性质。行业认可我们OptiStack HM800 HM900产品特性室温稳定超过12个月,而大多数竞争对手的类似产品在存储和运输过程中严格控制冷或冻结条件下。使用最新的缺陷检查和审查技术,我们的努力包括强调系统在长时间的升高测试条件下。这些测试我们的产品推到故障点,比任何东西更极端的一个客户工厂会遇到。从这些数据,我们理解背后的基本化学机制失效模式和新版本的产品可以给客户升级产品设计经验。
降低成本,更好的质量——供应链管理
通过控制整个供应链从硅单体净化聚合物合成和最终产品混合,布鲁尔科学能够减少缺陷,这使我们有别于我们的竞争对手必须依靠他们的供应商质量和核心提供它们。它不仅是困难和耗时的解决问题,但成本积累每一层的供应链。这将导致企业成本转嫁到客户或质量上偷工减料。依靠一个精简的垂直整合方案,布鲁尔科学可以看看“零缺陷”从供应链的每一层,检查缺陷模式如何演变通过并确定每一步一步净化最影响最终将产生缺陷减少。杠杆确保最终产品质量最好,同时最小化成本。最终的结果是降低拥有成本(首席运营官)和添加工程值给客户。
图2:控制整个供应链的质量和成本。
“零缺陷”不仅仅是一个口号。计量、过滤、压力测试,第一原则理解,新的化学设计和供应链管理是所有因素中,我们检查的方法。在布鲁尔科学,我们不要只是坐在过去的成功。不断挑战我们自己对产品设计和改进,我们可以与我们的客户分享我们未来的成功。
看看我们零缺点的程序我们如何方法我们对质量的承诺在过程的每一步。
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