使用design-assisted电压对比测量,该方法使在线测试和监测过程诱导OVL和CD变异。
本文提出了一种新的方法,设计检查(DFI)叠加的特点。使用design-assisted电压对比测量,该方法使在线测试和监测过程诱导OVL和CD端行(BEOL)特性的变化与litho-etch-lithoetch(乐乐)模式。仅有的一些特性多色模式选择方案直接对齐,其他组合的金属线,通过颜色可能不受控制的偏差可能开放或短期的失败。本文展示了完整的计量范围之间的多色组合双图案通过和双图案的金属线有助于推动覆盖和过程改进的利润率14纳米技术。通过打开放大过程的驱动会产生改善和更好的可靠性。
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