开源EUV抵制计量;diy分子显微镜。
开源EUV抵制计量
保罗谢勒研究所(PSI)开发了一个开源软件技术扫描电子显微镜(SEM)的应用程序。技术是针对EUV抵抗计量。
技术,叫做微笑(SEM-Measured图像估计行),是一个开源的软件技术,在扫描电镜特征线和空间模式。微笑是用来测量临界尺寸(CDs),线宽粗糙度(轻水反应堆)和无偏见的轻水反应堆。
抵制在极端紫外线(EUV)光刻技术是至关重要的。抗拒,光敏感材料,帮助形成模式在晶片上。
CD-SEM是一种常见的计量工具在工厂。在一个应用程序,一个CD-SEM用于定义抵抗材料的性能。这个工具需要图像的线模式和接触孔阵列。
“这种方法通常用于调查的质量抵制平台的粗糙度,剂量敏感性,和解决在不同接触和发展条件。精心控制的数据采集程序和正确的扫描电镜图像定量分析印刷晶片是必要的,以确定有意义的和比较结果,“PSI Iacopo麻吉说,科学家在最近的一篇论文。别人为工作做出了贡献。
使用标准CD-SEM,有几个商业软件包可用于执行图像分析任务EUV抵制计量。CD-SEM和软件是必不可少的EUV抵制计量
PSI的微笑也是面向EUV计量。这是一个免费和开源软件技术线和空间分析。“软件开发的分析扫描电镜图像的光阻和周期性纳米结构。它可以执行基本的CD测量,轻水反应堆估计,PSD分析、偏见、和缺陷检测的扫描电镜图像。软件功能不同的边缘检测算法和轻水反应堆评估协议,可以定制和扩展来解决特定于用户的需求,”麻吉说。
可用的软件MATLAB代码和正在发展为开放平台如Python或八度,据PSI。
diy分子显微镜
谢菲尔德大学开发了一个先进,开源的显微镜测量单分子的能力。
研究人员已经开发出一个平台基于单分子福斯特共振能量转移(smFRET)技术,它能够解决在生物分子之间的距离。
与此同时,他们开发了smfBox,具有成本效益的开源smFRET平台。研究人员已经开发出一种工具,它提供了指示,零件清单和收购开源软件开发smFRET科学界的平台。
谢菲尔德大学的已使用smfBox调查生物过程,如DNA损伤检测。这反过来将帮助研究人员获得洞察更好的治疗疾病,包括癌症。
通常,smFRET平台主要用于专门的实验室。外面太贵买的实验室。然而,谢菲尔德大学的花费约£40000建造它的开源系统。通常,这个系统运行约£400000。
“我们现在smfBox18划算confocal-based平台能够测量染料之间的烦恼效率对在自由扩散单一分子,为验证正确的使用变量交替激光激发染料化学计量和准确的烦恼校正因子的测定,”Ben安布罗斯说谢菲尔德大学的研究员在自然通讯技术杂志》上。别人为工作做出了贡献。
“smfBox由随时可用的光学与光机位组件,用加工阳极氧化铝代替昂贵的显微镜的身体,形成一个不透光的盒子住房激励二向色性,客观、镜头、针孔,“安布罗斯说。
蒂姆·克拉格铅从谢菲尔德大学的学术项目,补充道:“我们想要民主化一次性分子测量提供这种方法对于许多实验室,不仅仅是几个实验室在世界各地。这项工作需要什么是非常昂贵的,专业的装备,并给出每一个实验室的蓝图和软件构建它,在成本的一小部分。许多医学诊断是朝着更加敏感,没有比这更敏感的检测单分子。事实上,许多新的COVID测试目前正在开发工作在这个水平。这个乐器是一个好的起点走向新的医学诊断进一步发展。”
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