在线粒子传感提供连续、实时监控,缩短响应时间和可能限制损害在制品。
微粒(直径小于5微米)不影响大多数工业过程,但他们可以产生灾难性影响半导体制造业。从最早的天,生产设施部署空气过滤和再循环删除粒子从洁净室,但粒子可能仍然是内部生成的过程工具,在那里他们可以导致缺陷和收益损失。迅速确定何时何地机载粒子产生可能是一个挑战,但它是成功的关键。常规监测和诊断方法污染问题需要花相当长的时间来返回结果,而且,因为他们的断断续续,他们可能看不到污染事件,直到检测到的损害下游检查。在线粒子传感(IPS)提供连续、实时监控,缩短响应时间和可能限制损害在制品。
点击在这里继续阅读。
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
留下一个回复