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硅片尺度工具转移石墨烯


亚琛工业大学、AMO GmbH、Infineon Technologies、Protemics GmbH和Advantest Europe的研究人员发表了一篇题为“基于半导体行业要求的石墨烯晶圆级转移技术评估”的新技术论文。摘要(部分):“石墨烯是未来电子应用的一个有前途的候选者。制造石墨烯基电极…»阅读更多

在线机载粒子传感支持对污染的快速响应


细颗粒(直径小于5微米)不会影响大多数工业过程,但它们会对半导体制造产生灾难性的影响。从最早的时候起,制造设施就部署了空气过滤和再循环来清除洁净室中的颗粒,但颗粒仍然可能在加工工具内部产生,在那里它们可能导致缺陷并产生…»阅读更多

下一代可持续发展更具挑战性


半导体行业在减少能源使用和水消耗以及有效减少排放方面取得了重大进展,因为公司在设计新工艺和工具时将可持续性作为核心要求。但这将变得相当困难。这意味着有更多机会利用创新技术来增加价值,也意味着更需要合作。下一个……»阅读更多

缺陷和污染控制


本周的《新宇宙》特别有趣,因为尼尔·德格拉斯·泰森(Neil Degrasse Tyson)填补了半导体近代史的一部分,并提出了关于科学伦理的重要观点。卡尔·萨根(Carl Sagan)的《宇宙》(Cosmos)第一次播出时,我刚搬到美国,当时我认为他把各种有趣的点都联系起来了。新版甚至更好。在这个……»阅读更多

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