一个如何通过使用LDMOS工艺来改善通用引脚电子器件的权衡的例子。
目前，自动化测试设备(ATE)需要测试先进工艺中制造的高速/低压振幅器件，以及由引脚电子设备在传统工艺中制造的低速/高压振幅器件。然而，由于晶体管的击穿电压和寄生电容之间的权衡，很难同时实现超过1Gbps的工作速度和超过10Vpp的宽I/O范围。我们利用LDMOS工艺实现了通用引脚电子器件的平衡改进。
摘自Advantest的Probo 2021年6月杂志。
由PE核心工程部、第四研发部技术开发部、技术开发组ATE事业组中村仁等组成
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