检测SiC衬底和外延缺陷以提高质量和良率。
随着全球致力于减少温室气体排放，全球电动汽车(EV)的采用推动了对大功率、节能化合物半导体(如碳化硅(SiC)基组件)的需求在整个电动汽车组装过程中不断增长。
可再生能源技术现在处于气候前沿研究的前沿，电动汽车销售的加速发挥着比以往任何时候都更大的作用。一个关键的行业挑战是:提高电动汽车的整体效率。
KLA通过向SiC和氮化镓(GaN)功率器件市场提供解决方案和支持，推动了电动汽车和其他绿色技术的发展，从而推动了人类的进步。利用我们在开发能够解决IC行业复杂挑战的新技术方面的经验，帮助推动良率的提高，我们开发了全面的工艺设备组合以及专门针对功率器件独特需求的检测和计量过程控制解决方案。
我们的产品组合从检验SiC和GaN晶圆开始，我们将分享KLA仪器如何电力电子供应链中的制造商正在使用Candela 8520系统来提高基板晶圆质量和良率，并优化其外延生长过程。
“可再生能源的未来就在这里，市场快速增长，全球采用的增加推动了绿色技术的进步。KLA Instruments新产品介绍经理James Costello表示:“KLA Instruments正在支持碳化硅行业的努力，为电动汽车技术制造商提供解决方案，推动我们走向更绿色、更健康的地球。”
一个简化的3D渲染突出显示了基于sic的组件在电动汽车中的位置。碳化硅正越来越多地用于电动汽车的车载充电器、电池管理系统、DC/DC转换器和主逆变器，以提高效率、电池寿命和行驶里程。
越来越多的汽车oem和一级供应商正在将其电动汽车应用的功率半导体器件从Si转向SiC。小型、轻、节能的sic器件可以处理高温，非常适合电动汽车应用。由于这些技术对车辆性能的影响，汽车制造商越来越多地使用更高电压、基于sic的系统来提高电动汽车的电源效率，从而提高充电寿命、提高速度能力和牵引能力。
碳化硅半导体器件制造有独特的挑战与硅半导体制造相比。SiC衬底和外延层的缺陷发生的密度比Si衬底高得多，这使得制造商检测缺陷成为重要的优先事项，因为如果在Si或SiC基功率器件中不加检查，可能会导致系统故障。
解放军的仪器烛光8520该系统是专门为识别SiC衬底和外延缺陷而设计的。8520系统的多检测通道可帮助制造商发现与工艺相关的问题，并识别和分类影响产量的缺陷，包括三角形、胡萝卜、堆积故障、基面错位(bpd)、微管、划痕等。
Candela 8520识别了关键碳化硅器件制造缺陷。
KLA仪器集团开发，销售和服务计量和缺陷检测系统，用于大批量制造商(HVM)和大学和工业实验室的研发部门。我们的产品组合服务于广泛的市场，包括生物技术和医疗设备、光学、显示器、电池和能源技术。
KLA总经理Tom Pierson表示:“我们的工具有利于电池、太阳能和其他绿色技术的研究和制造，这继续激励我们在广泛的绿色技术应用领域进行创新。”
与KLA结盟ESG承诺和战略KLA Instruments支持可再生技术的制造商，努力为我们的星球提供一个更绿色的未来。
坎德拉8520加入8系列而且Surfscan SP A2为SiC和GaN功率器件制造提供检测能力。要了解更多关于KLA动力设备的完整产品组合，请查看我们的复合半而且基板制造网页，以及我们SPTS部门的SiC和GaN-on-Si功率器件的等离子蚀刻工艺有趣的文章．
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