在CMOS图像传感器,这是一种找到设备形貌和光学性能是如何联系的。
本文描述了一个创新的方法来调查设备之间的关系形态和CMOS图像传感器的光学性能。通过耦合FDTD-based 3 d麦克斯韦与silicon-accurate流程建模软件解算器,我们能够分析图像传感器的灵敏度量子效率对统计纳米设备拓扑结构的变化。此外,我们研究了锥体硅结构化量子效率增强[1]提出的。
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