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白皮书

原子层沉积研究

ALD如何与CVD、PECVD相比较,以及如何与ALE相匹配。

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想象一下,一次只能沉积几层原子层的材料薄膜。尽管听起来不可能,但原子层沉积(ALD)已成为现实。事实上,它作为一种制造薄膜的极其精确和可控的工艺,正被用于越来越多的应用中。与其蚀刻相对应的原子层蚀刻(ALE)一起,ALD使先进芯片制造中的新材料和三维设计成为可能。在这篇技术简报中,我们将仔细研究这个重要的原子尺度过程。

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