用多波束掩码编写器编写的掩码增加了一倍以上。
eBeam计划的2019-2020口罩制造商调查结果。
•多波束和EUV趋势变得可见
•与去年相比，10家不同公司报告了558,834个口罩
•用多波束掩码编写者编写的掩码增加了一倍以上
•EUV掩膜收率高达91%
•MPC在前沿节点的使用增加
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