技术挑战实现没有缺陷M2与SAQP线。
本文运用虚拟制造评估Imec 7 nm节点(并不)自对准四模式(SAQP)集成方案16 nm半个球场金属2线的形成。我们第一次获得没有缺陷的技术挑战M2与SAQP线,然后提供一个解决方案来达到< 1%失败率使用先进的过程控制和虚拟制造的组合。点击阅读更多在这里。
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