技术论文题为“直接合成nanopatterned碳化硅外延石墨烯”被悉尼科技大学的研究人员发表,Ludwig-Maxilimians大学慕尼黑,莫纳什大学和伦敦帝国理工学院。
”这篇文章介绍了一个简单的方法直接合成transfer-free, nanopatterned外延石墨烯对碳化硅硅基质。催化合金根据优化碳化硅石墨化与常见pre-patterned光刻和发射技术形成平面石墨烯结构上的一个未成形的碳化硅层。这个方法是兼容电子束光刻和紫外线光刻和石墨烯光栅至少∼100纳米宽/空间可以实现圆片规模。最低音高是有限的金属催化剂在液相流动的石墨化过程。我们预计,当前沥青决议可以通过优化进一步提高金属沉积法和发射过程。”
找到这里的技术论文。2023年7月出版。
Katzmarek,大卫,安德里亚·曼奇尼斯特凡·迈尔和弗兰西斯卡的居所。“直接合成nanopatterned碳化硅外延石墨烯。“纳米技术(2023)。
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