闭环调谐可以消除频率对温度的依赖，力平衡系统可以消除质量位移。
本文报道了一种具有闭环系统以保持1Hz的超低谐振频率的MEMS重力仪。低共振频率是通过使用由正机械刚度和负电刚度组成的弹簧来实现的。电气刚度的电压可调使总刚度超小且可调。为了在低共振频率下获得快速响应，振幅监测和调谐在更高的330Hz非共振频率下完成。我们通过仿真证明，使用闭环调谐可以消除谐振频率的温度依赖性。为了防止由超小刚度引起的问题，我们采用了一个力平衡系统，消除了质量位移。该重力仪的灵敏度为57V/Gal。
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