eBeam 2019年多波束掩模调查显示,2K的EUV掩模。
2019年,eBeam Initiative的多波束掩模调查首次报告•11家公司报告了599536个口罩•2789个EUV掩模•<11nm和>=7nm的掩膜平均周转时间(TAT)为11天。
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