新技术论文题为“高效和稳定的激活的微波退火nanosheet硅掺杂磷高于其溶解度限制“是国立台湾大学的研究人员发表的,康奈尔大学,台积电,巴利亚多利德大学DSG技术,国立中央大学和国家杨明交通大学。
改良的微波是用于“适当的掺杂物没有过度加热的激活或硅晶体的损伤,”据康奈尔大学的新闻发布会上。
找到这里的技术论文。2022年8月出版。
Chun-Hsiung蔡,Chandrashekhar·莎凡特穆罕默德Javad Asadi徼林伊凡桑托斯Yu-Hsiang许,杰弗里·科瓦尔斯基卢尔德Pelaz, Wei-Yen Woon, Chih-Kung Lee)和詹姆斯·c·m·黄“高效和稳定的激活的微波退火nanosheet硅掺杂磷高于其溶解度极限”,达成。理论物理。列托人。121,052103 (2022)https://doi.org/10.1063/5.0099083。
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