一个先进的电子束缺陷检验工具允许内联检查纳米级缺陷最先进的技术节点。
在本文中,我们报告一个先进的电子束缺陷检查工具(eProbe®250)和Design-for-Inspection™(DFI)系统已经被PDF构建和部署解决方案4海里FinFET技术节点。这个工具有一个非常高的吞吐量,允许内联检验纳米级缺陷的最先进的技术节点。我们还展示了eProbe申请检测系统埋藏缺陷描述和处理窗口。
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