两个新的教学传感器提供增强的能力微调position-critical内部组件(比如机器人末端执行器的运动和硅片。
半导体制造工具的设置和维护操作可以繁琐,费时,昂贵,导致对人员和资源的直接成本和间接成本失去了工具扩展调试期间的新工具和requalification修理或维修工具。Wafer-like (reticle-like)传感器(WaferSense CyberOptics®)提供快速、方便的测量室内的过程。多年来,许多常规测量传感器开发任务,包括平、振动、湿度、粒子,不紧密接触,教学,和反抗。两个新的教学传感器提供增强的能力微调position-critical内部组件(比如机器人末端执行器的运动和硅片。在某些应用程序中,这些传感器可以减少所需的时间来执行安装和维护操作的十倍或更多。
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