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电子束检测和CD测量革新了显示器良率管理

以前没有问题的颗粒现在可能成为显示行业的“致命”缺陷。

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在移动和电视应用对更高分辨率屏幕和其他功能需求的推动下,显示行业正在发生根本性变化。

为了满足这些需求,本文中的显示技术路线图要求在材料、工艺和器件技术方面进行创新。关键要求包括更小的设计规则和一系列材料的采用,包括铜(Cu)、金属氧化物(MOx)、低温多晶硅(LTPS)、有机led (oled)甚至量子点(QDs)。但是,还需要新的工艺和材料工程专业知识,以及新的产量管理策略。

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