但是从大局的角度来看,这并不总是一件坏事。
在20世纪早期的心理学家卡尔·拉什利去寻找并研究记忆的痕迹,人类大脑的记忆存储中心。他一直没能找到。事实上,他甚至最终证伪的理论一个印迹存在,这是更重要的比如果他大脑的理解证明存在的印迹。
超过60年的研究结果同样热核聚变的偶然。虽然物理学家可以分裂原子,加入他们是一个更为困难的问题。在1950年代,物理学家预言,汽车将由微型核反应堆。他们错了。但这些努力的结果,我们已经学会了大量关于物理、核加速度,亚原子粒子以及它们如何相互作用,还有更多,更多。
在半导体光刻技术也是如此。EUV一直在1990年代中期以来的画板代替193 nm紫外线光刻技术基于ArF准分子激光。大问题,到目前为止已经买入足够多的力量创造一个强大的剂量的等离子体。
等离子体是物质,但它不是一个固体、液体或气体。如果你不得不检查一个盒子,它将融入到“其他”类别。因为等离子体包含大量电子,它也是高导电和磁场响应。
简而言之,EUV是激光束聚焦工作,传遍了整个融化的锡降至产生等离子体,进而从凹面反射到光掩模。这是物理/光子学最令人敬畏的,事实上,它的工作原理是令人惊叹的。它不工作始终不够,或者至少没有,并不奇怪。
但研究人员越来越近了。ASML / Cymer产生了电源,有一天,天气很好,可以达到每小时基本水平的足够的吞吐量的晶片使铸造厂像台积电和英特尔当真。它仍然需要更长的时间比商业铸造厂,每个芯片的成本增加,所以有工作正在使光刻胶材料更适应低剂量的光。和这种方法是否会结出果实狭窄足够的时间窗内的公开辩论的问题。摩尔定律是基于时间的公式,和物理问题安排并不总是可以解决的。
但所做的大量的研究在该领域开辟了各种新的可能性,从新的方法在自组装模式芯片的新方向,包装和集成晶片、模具和包。是否EUV工作可能是一个短期的问题。更大的问题,将会产生更加深远的影响,是什么可以用的研究已经进入EUV吗?
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