EUV抵抗进展报告;婴儿碳纳米管。
进展报告EUV抗拒
抗拒的发展是一个极端紫外线(EUV)光刻的关键部分。
“EUV抗拒是生产准备,”凯文·卡明斯说,Sematech的光刻技术主任。“然而,通过Sematech与抵制供应商合作,我们观察到一个减速的速度改进。因此,Sematech工作不仅与抵制社会继续改善,但也帮助创建新类的抗拒和将允许改进加速EUV。”
最大的挑战之一是抵制出气。在脱气,镜子用于EUV可以成为污染在接触一些碳氢化合物的存在。抵抗已知期间除气接触EUV辐射在真空环境。
抵制出气最小化的减少或防止接触可能污染的EUV工具对EUV抗拒的发展至关重要。至关重要,抵抗化学物质满足严格的出气规范之前被用于一种EUV扫描仪。但抗拒学习周期长,效率低下。这是部分原因是冗长的除气测试,抵抗材料配方被暴露在生产前必须经过EUV扫描仪。
在一份联合与协作JSR,Sematech实验证明一个新的和改进的评价方法减少数量的测试商业EUV抗拒从每个配方三个样品每个家庭。结果证实,主要成分的浓度在抵制可以不需要requalification改变。反过来,这可能导致的潜在节省几百除气测试每个抵制家庭。
这一成就有可能实现可观的成本节约通过显著提高抵制学习周期。“Sematech过去几个月一直在与JSR确保所有测试过程满足除气测试行业指导方针。现在我们可以减少样品测试每抵制家庭抵制供应商,进一步使将负担成本效益的EUV制造的基础设施,”卡明斯说。
“至于除气测试EUV抗拒,仍有大量的工作要做,”卡明斯说。“例如,我们还需要确定(即小说。,那些不是化学放大)拒绝也可以“家庭测试。迄今为止我们已经完成了让我们减少了除气的数量需要测试样品。我们估计减少了90%。我们的目标是要测试所有当前EUV抗拒,我们相信这将仍然需要几年。”
婴儿的碳纳米管
单壁碳纳米管可以导电的高速度,使他们有吸引力的用于下一代晶体管。但在生产碳纳米管是具有挑战性的。碳纳米管的性质依赖于它们的结构。结构是决定纳米管时就开始形成。
一步了解纳米管是如何形成的,国家标准与技术研究院(NIST),的马里兰大学,德州农工大学有拍摄这些结构时,只有几个原子大。
人员能够捕获这些图像的碳原子形成纳米管通过降低经济增长速度缓慢的压力。(来源:NIST)
这些纳米管“宝贝图片”给一个洞察如何发芽和成长。增长的过程称为成核的开始。理解的过程,研究人员需要图像发生成核过程。然而,这是具有挑战性的。它涉及少量的快速移动原子。研究人员可以使用快速、形象原子高分辨率的摄像头,但他们是昂贵的。
为了解决这个问题,NIST的增长率放缓降低内部压力扫描透射电子显微镜。工具,研究人员看着碳原子产生乙炔下雨下跌到1.2纳米钴硬质合金,连接,形成石墨烯、纳米颗粒包围,开始成长为纳米管。
“我们的观察表明,碳原子连接只对纯金属钴硬质合金纳米粒子的方面,而不是这些方面与碳原子交错,“NIST化学家Renu Sharma说,该机构的网站上。”蓬勃发展管然后增长高于cobalt-carbon方面,直到找到另一个纯金属表面附着,形成一个封闭的帽子。碳原子继续附加钴方面,把之前形成石墨烯以及向盖在一种碳装配线和延长管。整个过程只花了几秒钟。”
沙玛表示,碳原子寻找最积极的配置,因为他们在钴硬质合金纳米粒子的表面形成石墨烯。该集团的下一步是测量纳米管的手性随着他们的成长。他们计划用金属纳米粒子具有不同方面研究胶粘剂性能看到它们是如何影响管的直径和手性。
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有多少次我们听到以下“EUV ________是生产准备,“不过* * *。读者应该填空(原谅双关语)。例如,如何“面具”和“他们不能检查”。或“吞吐”,“我们必须改变我们的生产力度量从晶圆/小时小时/指标”。好的,你试试。