来提高收益率不仅通过消除缺陷,但也通过解决参数和系统的问题。
作为新产品和流程被引入到集成电路制造的速度越来越快,学习和增加产量正变得更具挑战性由于增加之间的交互设计和过程。随机缺陷造成产量损失相比,系统的产量损失机制变得越来越重要,因此初始收益率增加过程变得更具挑战性。“整体”产量提出了改进方法和实现显著降低收益率斜坡时间和半导体制造商的利润最大化。这种新方法产生改善桥梁设计和制造之间的差距通过集成工艺配方和设计信息与在线生产数据来获得一个增强理解和后续过程的决心和设计架构问题,影响产量和性能。用这种方法提高产量不仅通过消除缺陷,而且解决参数和系统的问题。结果是更高的产量和性能所需的一小部分时间由传统的“缺陷”方法。
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