在年度感知调查中，对EUV和多光束的信心仍然很高。
在2018年(7月)第七次年度感知调查中，EUV置信度和多光束仍然很高。EUV感知保持积极。82%的受访者预测到2021年底HVM将出现EUV。只有1%的人预测EUV永远不会出现。对EUV光刻在大批量生产中的信心再次高涨，对EUV光化掩模检测的期望继续增长。
对MBMW需求的认知在增长。人们相信EUV的采用需要MBMW, 193i和NIL对MBMW的需求也有所增加。MBMW在大批量生产方面的信心仍然很高
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