标签:在线计量

在积极和消极离子污染物的检测模式使用内联西姆斯和一个氧离子束
通过新星2023年5月- 09年-评论:0

利用二次离子质谱(SIMS)在线计量学是一个新兴的过程控制方法,需要3测量,使西姆斯在产品晶片。西姆斯的测量负离子通常与铯主要离子束。铯存在于硅,不幸的是,当它形成陷阱州如果带隙,从而导致ser……»阅读更多

计量抽样计划是关键设备分析和可追溯性
通过迈克·麦金太尔2022年12月- 06 -评论:0

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光学计量解决方案10 nm电影过程控制的挑战
通过心理契约8月17日,2016 -评论:0

由bloom Mahendrakar (a),阿洛克Vaida (a), 8月Venkataraman (b),迈克尔·Lenahan (a),史蒂文Seipp (a),方Fanga (a),什维塔Saxena (a),大为胡锦涛(b),南昭熙Yoon (b), Da歌曲(b), Janay阵营(b),周任(b)。a: GlobalFoundries;b: KLA-Tencor]控制逻辑门堆栈层的厚度和成分和内存设备是至关重要的,确保晶体管性能满足r……»阅读更多

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