奇瑞的CTO/CMO预示着轻松，低成本的制造，加上出色的业绩(采访)
由总编阿黛尔·哈尔斯发布，高级基材新闻
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2012年春天，意法半导体宣布将采用28纳米FD-SOI工艺技术，生产ST-Ericsson的下一代(非常成功的)NovaThor arm智能手机/平板电脑处理器。随着第一批样品将于今年秋季推出，ASN与意法半导体执行副总裁、数字部门总经理、首席技术与制造官Jean-Marc Chery就制造工艺和预期结果进行了交谈。
Jean-Marc Chery，意法半导体执行副总裁、数字部门总经理、首席技术与制造官(图片来源:Artechnic)
Advanced Substrate News (ASN):你在9月初贴出了ST-Ericsson的28nm FD-SOI NovaThor。结果如你所料吗?
意法半导体(STMicroelectronics)让-马克•奇瑞:28nm FD-SOI是一项非常令人兴奋的技术，与传统的批量技术相比，它可以实现更好的设计优化(更高的速度和功率效率)，仍然重用了平面28nm LP技术的大部分制造单元，并且具有相同的设计流程和方法。
ST-Ericsson的NovaThor采用28nm FD-SOI并没有在设计上带来任何重大困难，并且在低功耗批量版本之后不久就推出了FD-SOI版本。当然，FD-SOI一直致力于进一步优化功率，利用FD-SOI卓越的灵活性和低功耗能力。
在制造方面，FD-SOI不会引入额外的复杂性:相反，工艺步骤减少了，从而缩短了周期时间。
ASN:你能谈谈你期望在芯片上看到或已经看到的结果吗?有什么关于它，或者可能是关于ARM核心，使它特别适合FD-SOI吗?在设计中，晶体管的反偏置能力(可以显著提高性能和功率优化)是否具有挑战性?
江铃汽车:28nm FD-SOI技术提供了具有优异性能的宽电源范围(从1.2V到0.6V)和扩展后偏置能力(允许晶体管阈值电压的动态调制)，使我们能够利用ARM实现提供改进的最大频率，并为SoC的各种工作模式实现整体功耗降低。
关于背偏，这是FD-SOI技术的标准特征，对制造没有特别的挑战。当然，动态使用它来优化功率(或速度)工作点需要适当的设备架构来充分受益。
ASN:在媒体上，意法半导体表示，28纳米FD-SOI的功率和性能优于业内第一代批量22纳米finfet。您是否认为选择FD-SOI使您处于优势地位，因为您将拥有移动行业领先的28纳米技术和成熟的14纳米技术?
江铃汽车:28nm FD-SOI技术在SOC行业中是一个独特的方案，允许以低成本和及时的方式引入完全耗尽的技术。
28nm FD-SOI是源自28nm LP批量技术的平面技术，具有相同的设计规则，并允许基本构建块和ip的直接布局重用(或简化移植)，受益于继承其成熟度级别。在制造方面，28nm FD-SOI技术在简化的工艺流程中使用了与低功耗批量CMOS相同的设备。在ST/Crolles工厂，我们的产率达到了与28nm LP批量生产相当的水平，证明FD-SOI工艺没有引入主要的良率影响因素。
流畅的库和IP迁移流程，加上快速的制造可用性，推动了这一28nm技术的成功。
从技术路线图来看，14nm节点的相同增量步骤正在开发中，并已步入正轨。
意法半导体位于法国Crolles的工厂。(图片来源:Artechnic)
ASN:计划是在Crolles的工厂开始生产，然后在2013年转移到GlobalFoundries进行大批量生产-这仍然是计划吗?从制造的角度来看，如何让晶圆厂为FD-SOI的生产做好准备(比典型的批量扩展过渡需要更长的时间吗)?是否需要特殊的工具或其他准备?
江铃汽车:在制造方面，28nm FD-SOI技术使用与28nm LP批量相同的工具集。工艺开发已经完成，ST/Crolles晶圆厂现在正在努力将产量提高到生产水平，并完成技术的认证，就像其他任何技术一样。
GlobalFoundries计划于2013年第一季度开始逐步采用该技术，工艺合格，预计2013年第四季度产量达到生产水平。
ST Crolles晶圆厂是高度自动化的，除了新的FD-SOI芯片之外，已经运行了广泛的产品组合。到2014年底，公司在该晶圆厂投资的累计资产将使产能增加到4500片/周。(图片来源:Artechnic)
ASN:我们来谈谈克罗尔的事吧。虽然与大型纯晶圆代工厂相比，它可能被认为很小，但在某些方面，你们与大型晶圆代工厂有共同之处——比如大量的产品组合和先进的自动化，对吗?
江铃汽车:Crolles的技术组合包括先进的CMOS 28/40纳米，成像传感器，用于微控制器的55nm开始的嵌入式非易失性存储器和CMOS 110nm模拟。这种组合很好地优化了我们在这家晶圆厂投资的累积资产，在未来两年实现了每周4500片的产能。
ASN:您如何看待意法半导体的决定对行业的影响?你希望其他人效仿吗?其他公司能够在代工合作伙伴那里利用你们的技术吗?
江铃汽车:我们非常希望其他人跟随我们。通过GlobalFoundries, ST将其FD-SOI技术提供给微电子行业的任何人。ST广泛的28nm硅验证基础库和IPs，不仅包括基本库(标准单元，ram, I/ o)，还包括复杂的AMS IPs，也可授权给那些希望快速访问该技术的客户。
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