如何提高长期收益率和设备安装的无线实时监测空气中。
案例学习:要快速识别空气粒子的来源在照相平版印刷的扫描仪,协调和确认的影响的清洁和维修。遗憾的是,大多数传统的方法很难解决颗粒问题主动探测粒子。
考虑现场方法作为一个例子。传统现场扫描仪不提供实时反馈,使粒子来源去未被发现的大量的时间。这些限制使这些传统方法不切实际的粒子识别和管理。
CyberOptics在多种原位测试扫描仪光刻工具过剩的粒子来衡量其功效。在这些测试中,原位粒子扫描仪扫描监控十字线在清洁去——但间歇性地退出来历不明的大量的粒子。
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