制造业:12月2日

储存环EUV源
不用说,极端的紫外线(EUV)光刻是延迟。芯片制造商希望插入EUV 7 nm节点,但这并不是一个给定的。像以前一样,最大的问题是EUV光源。到目前为止,不能产生足够的力量来源,使所需的吞吐量EUV在大规模生产。

研究人员SLAC国家加速器实验室有一个可能的解决问题的办法。该集团正在探索的发展大功率EUV基于存储环技术来源。这项技术还处于研发阶段,需要支持集成电路产业在商业上可行。

研究人员正在探索这一概念使用现有的存储戒指。在这种情况下,他们会使用在线性SPEAR3作为一个测试用例。1972年,SLAC完成了斯坦福正电子电子加速环(枪),碰撞束存储环用于粒子物理研究。长矛组成一个单一的戒指,这是直径约80米。

2004年,该设施升级。设施,被称为SPEAR3 3-GeV,第三代存储戒指。与现有的参数限制,研究人员追求的目标1千瓦的EUV权力。

使EUV存储环源,研究人员发明了一种叫做稳态microbunching (SSMB)。”的基本思想是控制梁的动态存储戒指,不是传统的高斯分布,但microbunched,”说亚历克斯•曹国伟SLAC斯坦福大学的物理教授。”的整个概念SSMB在于发明一个方法,使光束microbunched和tstay microbunched逐向道路环境的存储戒指。”

EUV光源,戒指由一个调制器和一个散热器。调制器(300 nm波纹机)和散热器(13.5 nm波纹机)安装在储存环低动量压缩。疲软的300 nm种子激光调制器的应用。镜子根据可用的激光功率是可选的。在操作中,梁microbunched和集中在300海里。反过来,这可能使权力13.5纳米波长的由于高重复率的技术。

的技术不是由自由电子激光(恶魔)。“恶魔,建议一些,扰乱了梁太多。因此,它破坏了microbunching结构,”赵说。“SSMB故意避免胆汁机制。SSMB的关键是microbunched和稳态。这就是为什么是大功率EUV的潜力。”

最初,曹国伟和他的团队将利用SPEAR3设施,但最终,这项技术可能需要开发一个专用的存储戒指。专用的存储环将SPEAR3设施规模的一半。从理论上讲,每一个工厂需要一个存储戒指。“然而,专用存储环可以有多个插入。每个存储环可以几个1 kw工具在每个工厂中,”他说。

这种技术是不同的比不幸的x射线光刻技术在1980年代来源。在那些日子里,IBM和一些日本公司分别开发x射线光刻技术基于巨大的同步加速器储存环。“SSMB使电子束在稳态microbunched,”赵说。“通常的同步加速器束不是microbunched,因此,辐射功率低N倍,其中N是一个电子的电子数量很多。在实践中,N是大约10 ^ 9。SSMB源可能是9个数量级比一个同步源,虽然在实践中它有点少。”

发射灵活的芯片
灵活的电子产品是一种很有前途的技术,可用于消费电子、显示器、医疗设备和其他产品。但这项技术也有一些挑战。足够的有机材料的性能提出了一个问题。和高温过程限制的发展灵活的电子产品,因为基本的热不稳定性的高分子材料。

帮助解决这个问题,韩国先进科学技术研究所(韩科院)开发了一种新方法,实现灵活的电子通过研究组织的电话吗Inorganic-based激光发射(ILLO)技术。

在实验室中,研究人员设计了一个crossbar-structured记忆组成的32×32个数组和一个selector-one电阻器(1 s-1r)组件。设备最初是在刚性衬底制作的。它被转移到一个塑料衬底通过ILLO过程。

这幅示意图显示了灵活的横梁通过ILLO记忆发展的过程。(来源:韩科院)

ILLO过程包括沉淀laser-reactive剥落层刚性基板,然后制造无机剥离层的电子设备上。”通过激光辐照衬底的背面,只有超薄无机设备从衬底层剥落由于激光和剥离层之间的反应,然后随后转移到任何类型的接收机衬底,如塑料、纸、甚至织物,“根据韩科院。

在该组织的网站上,Keon李杰从前教授材料科学与工程学系韩科院,说:“通过选择一组优化的无机剥离层和衬底、一个纳米级的过程在较高的温度超过1000°C可以用于高性能柔性电子元件。ILLO过程可以应用到不同的灵活的电子产品,比如显示驱动电路和inorganic-based能源设备(如电池、太阳能电池和自供电的设备,需要高温过程。”

t恤光刻
南洋理工大学(南大)印刷复杂电子电路使用一个共同的t恤打印机。的技术,研究人员打印4比特数模转换器和射频识别(RFID)标签。

输出电路中使用材料层的弹性材料,如塑料、铝箔和纸。电阻、晶体管和电容器可以打印使用无毒有机材料如银纳米粒子,碳和塑料。

南阳的关键区别的方法和其他类型的印刷电子产品,它是一个完全添加剂技术。输出电路完全没有任何有毒化学物质或氧化剂的使用。
正在建立一个新的创业公司,以实现该项技术的商业化。跨国生物医学公司也表示有兴趣为生物医学设备采用的技术。

“这意味着我们可以有智能产品,如纸箱,告诉你什么时候牛奶过期后,绷带,提示您是时候纠正时,聪明的补丁,可以监视生命信号像你的心率,“南大副教授约瑟夫Chang说,在大学的网站上。

“我们不是竞争高端处理器智能手机和电子设备中。相反,我们补用廉价的印刷电路成本仅仅是美分而不是几美元,使一次性电子成为现实,”他说。“我们的创新过程是绿色的,使用无腐蚀性的化学物质。它可以印刷在几分钟内需求在需要的时候。也是可扩展的,可以打印大电路在许多类型的材料和最重要的是,它是低成本,随着印刷技术已经推出数十年之久。”

南洋理工大学印刷复杂电子电路使用共同的t恤打印机。(来源:南大)