Lam Research的研究人员发表了一篇名为“人机协作促进半导体工艺开发”的新技术论文。
文摘:
制造半导体芯片的瓶颈之一是开发形成晶体管和存储单元的化学等离子体工艺所需的成本不断增加。这些工艺仍然是由训练有素的工程师手动开发的，他们正在寻找一种工具参数的组合，以在硅片上产生可接受的结果。计算机算法面临的挑战是，由于获取成本高，实验数据的可用性有限，这使得很难形成精确到原子尺度的预测模型。在这里，我们研究贝叶斯优化算法，以研究人工智能(AI)如何降低开发复杂半导体芯片工艺的成本。特别是，我们创建了一个受控的虚拟过程游戏，系统地基准测试人类和计算机的性能，以设计半导体制造过程。我们发现人类工程师在开发的早期阶段表现出色，而算法在接近目标的严格容差时成本效益要高得多。此外，我们还表明，与仅使用人类设计师相比，同时使用具有高专业知识的人类设计师和算法的人类-计算机-最后策略可以将目标成本降低一半。最后，我们强调了在开发半导体工艺时引入人工智能时需要解决的人类与计算机合作的文化挑战。”
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卡纳里克，k.j.，奥索维茨基，w.t.，卢，杨(。et al。人机协作改进半导体工艺开发。自然(2023)。https://doi.org/10.1038/s41586 - 023 - 05773 - 7。开放访问。
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