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下一代芯片推出高选择性蚀刻技术


几家蚀刻供应商开始推出下一代选择性蚀刻工具,为新的内存和逻辑设备铺平了道路。2016年,应用材料公司是第一家推出下一代选择性蚀刻系统(有时被称为高选择性蚀刻)的供应商。现在,Lam Research, TEL和其他人正在运输具有高选择性蚀刻功能的工具,为未来的设备做准备。»阅读更多

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