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先进的HVM在红外光谱建模提供了新的应用程序


在领先的大批量生产(HVM)流程流,materials-enabled比例增加了内联组分计量申请。前一个博客讨论了傅里叶变换红外(FTIR)光谱用于内联组成测量。这些测量信息先进过程控制选择性地蚀刻的wafer-level处理3 d NAND wordli……»阅读更多

扩大材料精制腐蚀选择性计量


趋势在先进设备制造要求结合lithography-etching多模式序列和自对准多模式在亚波长尺寸最好形成设备的特性。EUV光刻(13.5海里)发展到大数值孔径和新薄抗拒,必须开发新的多重图像序列相互兼容的抗拒和近端层t…»阅读更多

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