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FTIR高级建模为HVM提供了新的应用


在领先的大批量制造(HVM)工艺流程中,材料支持的缩放增加了成分计量的内联应用。之前的一篇博客讨论了傅里叶变换红外光谱(FTIR)如何用于内联成分测量。这些测量为选择性蚀刻3D NAND的晶圆级加工提供了先进的工艺控制。»阅读更多

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