确保模型的校准模型反映实际过程的行为和可以显示逼真的3 d可视化复杂的流程。
半导体行业一直面临挑战造成的设备扩展、体系结构演化和过程的复杂性和集成。这些挑战是加上一个需要快速向市场提供新技术。在半导体技术发展的初始阶段,创新流程方案必须使用硅晶圆测试。测试这些晶片测试是漫长而昂贵的。
作为一种替代方法,过程工程师,和集成商可以使用虚拟流程建模测试替代流程方案和体系结构不依赖wafer-based测试。然而,它可能是一个挑战来构建一个虚拟流程模型可以精确地复制一个实际的流程。建立一个精确的流程模型的一个重要方面是确保模型校准。有一个校准模型很重要,因为它提供了保证流程集成商和工程师,该模型将反映实际过程的行为。校准模型也可以显示真实的3 d可视化复杂的流程,并提供准确的结果在窗口过程研究和设计技术共同改进。
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