皮秒超声波在3D NAND中的应用显示了监测过程和收集设备性能见解的潜力。
非晶态碳(a-C)基硬掩模具有优异的蚀刻选择性、化学惰性、机械强度，并已用于蚀刻深度、高纵横比的特性，这是传统光抗蚀剂无法承受的。皮秒超声技术(PULSE由于该技术具有快速、非接触、非破坏性以及同时进行多层测量等独特优势，在金属薄膜计量中得到了广泛的应用。同时测量透明和半透明薄膜的速度和厚度不仅为监测过程提供了很大的潜力，而且还提供了对设备性能的洞察。在本文中，我们展示了皮秒超声波在3D NAND中的成功应用。其中包括各种金属薄膜的测量，以及广泛应用于硬掩模材料的非晶碳膜的声速和厚度的同时测量。
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