微微秒超声波技术先进的射频计量的优点


本文从中国半导体技术国际会议(CSTIC)。微微秒超声学(脉冲技术)已经被广泛采用的tool-of-record金属膜厚度计量在全球半导体晶圆厂。它提供了独特的优势,比如作为一个快速、非接触、非破坏性技术,有能力同时多个层……»阅读更多

监控关键流程步骤3 d NAND使用微微秒超声波计量与厚度和声速的能力


无定形碳(a - c)为基础努力口罩提供优越的刻蚀选择性、化学惰性、机械强,并已用于蚀刻深度、高纵横比的特性,传统的光阻不能承受。微微秒超声波技术(脉冲技术)已广泛应用于金属薄膜计量由于其独特的优点,如作为一个快速、非…»阅读更多

可伸缩的电子新花样?


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