如何自动发现高危热点与模块化hotspot-checking规则甲板。
在这篇文章中,我们结合热点模式库和基于规则的评分系统为模块化hotspot-checking规则甲板运行在一个自动的流程。几个DFM(设计制造)属性定义的标准将会建立一个“分数板”热点的候选人。热点在输入设计突出显示时,评分系统可以识别是否热点是一项高风险的热点,并定义的严重性DFM属性提取的热点。自动流将检测层中包含的设计然后生成一个模块化规则甲板与几个相应的热点止回阀模块。高风险的流动也将快照热点自动根据得分板。所有重要的热点数据收集后,流将自动创建一个html格式的报告的属性直方图和概述图显示分布的热点。前面提到的HTML报告包含得分DFM属性和快照可以帮助结果视图快速识别高风险热点的设计;即用户可以检查热点通过快照没有加载整个设计布局查看器工具。通过比较热点检查结果与实际缺陷从晶片的数据,一个真正的热点的DFM属性的值。我们相信这是帮助用户提高他们的热点规则准确性。
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作者:香方,Shou-Yuan马
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学报》卷10807,光掩模日本2018:第二十五研讨会光掩模和下一代光刻掩模技术;108070 l (2018)https://doi.org/10.1117/12.2323956事件:2018年日本光掩模,2018年,日本横滨
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