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技术简介:电镀元素

为什么用电镀方法沉积的铜比其他沉积方法电阻率低,填充性好。

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电镀是一种常见的制造工艺,它将一种金属薄层涂在另一种金属上。例如,自1982年以来,美国硬币一直是用锌和一层薄的电镀铜涂层制成的。珠宝和餐具也经常被电镀以改善视觉外观或提供耐磨和耐腐蚀。今天,电镀在电子工业中广泛应用,以沉积导电金属,用于印刷电路板,连接器,以及最近的半导体互连。

在整个芯片制造过程中,介质(绝缘)和金属(导电)材料层被沉积下来。根据所制造的材料和结构的类型,采用不同的物理或化学技术。电镀是用来制造铜互连和通孔,将集成电路中的组件连接在一起。与物理气相沉积等其他沉积方法相比,电镀铜具有较低的电阻率和较好的填充特性。

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