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利用机器学习提高产量


机器学习在半导体制造业中正变得越来越有价值,它被用于提高良率和吞吐量。这在数据集有噪声的过程控制中尤其重要。神经网络可以识别超出人类能力的模式,或者更快地进行分类。因此,它们被部署在各种制造过程中……»阅读更多

电子束在检测集成电路缺陷中的作用越来越大


不断向更小的功能迈进,再加上对更长的芯片寿命的更高可靠性的需求不断增长,已经将检测从一项相对晦涩但必要的技术提升到晶圆厂和封装厂最关键的工具之一。多年来,检测一直被视为电子束和光学显微镜之间的战争。然而,越来越多的其他类型的督察…»阅读更多

提高5nm芯片成品率的策略


领先的芯片制造商台积电(TSMC)和三星(Samsung)正在大批量生产5nm芯片,台积电正推进在年底前生产第一批3nm芯片的计划。但是为了达到这样激进的目标,工程师们必须比以前更快地识别缺陷和提高产量。获得EUV随机缺陷的处理-非重复模式缺陷,如微桥,折线,或缺失con…»阅读更多

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