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等离子体处理先进微电子CMOS之外


的话特特临到布西l . n . Marchack d . b .农民,h . Miyazoe j . m . Papalia介绍h .严g . Totir和s·恩格尔曼氏,“等离子体处理先进微电子CMOS之外”,应用物理杂志》130,080901 (2021)https://doi.org/10.1063/5.0053666抽象的科学研究等离子体放电和材料的相互作用是至关重要的半导体的发展过程在…»阅读更多

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