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先进的HVM在红外光谱建模提供了新的应用程序


在领先的大批量生产(HVM)流程流,materials-enabled比例增加了内联组分计量申请。前一个博客讨论了傅里叶变换红外(FTIR)光谱用于内联组成测量。这些测量信息先进过程控制选择性地蚀刻的wafer-level处理3 d NAND wordli……»阅读更多

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