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优化产品开发使用定向自组装(DSA)


定向自组装(DSA)是一种新兴技术,能够大大提高光刻制造半导体器件。在DSA,共聚物材料自组装形成纳米级分辨率模式在半导体衬底上。DSA技术有希望大幅度提高现有光刻的分辨率过程(如自对准……»阅读更多

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