为什么EUV是如此困难

通过马克LaPedus11月17日,2016 -评论:23

多年来,极端紫外线(EUV)光刻是一种很有前途的技术,应该帮助启用高级芯片扩展。但经过多年的研发、EUV还没有在生产,尽管主要支持产业,巨大的资源和数十亿美元的资金。最近,然而,[gettech id = " 31045 "评论= " EUV "]光刻pos似乎指日可待…»阅读更多

抵制敏感性、源动力和EUV吞吐量

通过凯瑟琳德比郡- 9月30日,2015 -评论:0

在最近的一篇文章中,我引用了15 mJ / cm2作为目标敏感EUV光阻,并讨论了吞吐量,可以实现在不同的功率源。然而,作为评论者,文章指出,达到15 mJ / cm²目标同时满足线粗糙度要求本身就是一个具有挑战性的问题。因为EUV高能量的光子,一个高度敏感的……»阅读更多

通过迈克尔·瓦茨- 9月18日,2014 -评论:0

管理变化需要一种不同的方法在工厂管理,从被动的预测方法。然而,这是说起来容易做起来难。预测工厂管理需要一个更详细的了解发生在工厂的一切,包括流程变化、设备变化,混合variation-all必须与调度策略管理名单……»阅读更多