有一个日本主要最终用户,日本主要步进公司这两个评估信息设备,和信息产业部使用“设备合作伙伴”是谁将MII模块集成到一个步进。
迈克瓦
2月对印记观察人士来说,有先进的显微光刻法是非常有趣的,在那有几个演讲似乎存在关联,但主持人否认有…的链接。这让我想!
东芝公司(日本东京)开始球滚动的详细状态报告的评估分子标记(MII -奥斯汀TX)步进重复印工具。他们展示了很多数据和弗兰克评估系统尚未准备好生产,但所有的关键性能特征接近。吞吐量和覆盖在2 x的目标。缺陷是100 x从目标和关键的障碍。最后工作需要大量的基础设施问题。当观众提问问“这意味着东芝认为,问题是可以解决的,或者他们是如此艰巨,放弃吗?”,作者对冲!
Sematech(奥尔巴尼纽约)然后报道他们的信息产业部的工具,是一个相似但稍微年长的牧师的工具。他们的数据是非常相似的。他们值随机defectivity,从已知的来源,消除缺陷后,遇到了神奇的0.1厘米2号码。佳能(日本东京)站起来显示更多数据的评估和一些改进他们对MII系统。最后,信息产业部提出了一系列技术改进关注吞吐量和defectivity,和进一步的数据与前3主持人是相一致的。他们还宣布,今年发货4工具,其中一个是一个印记模块集成在一个步进“设备合作伙伴”。另一个系统是一个戴面具的复制工具,去日本印刷(DNP -东京,日本)。
所以有一个日本主要最终用户,主要的日本步进公司评估信息产业部设备,和信息产业部使用“设备合作伙伴”是谁将MII模块集成到一个步进。3正在与DNP获取模板,谁买了一个模具复制系统。显而易见的结论是,这里是一个4路的程序,和一个看起来像有意义如果有严重的实现程序。
第二步是,这些多个来源的数据相当一致,尽管目前还不清楚哪些改进是哪些数据。最后,非常接近可行的印记。观众提问表明缺陷密度与EUV。最后从多个多波束电子束公司报告显示,1000年他们仍然因素远离吞吐量目标。总而言之,这是一个非常积极的故事角度印记。
充分披露——作为一个前任MII的创始团队成员,我仍然有一些股票,但没有特别的见解。
麦克瓦以来模式1嗯的关键障碍,换句话说,长期。我是一个高大的英国佬是谁没能建立一个在奥斯丁德克萨斯口音。我有一个咨询瓦www.impattern.com。
我的博客“ImPatterning”将专注于业务和技术的最新发展的模式。我特别感兴趣的试图识别最新的商业应用程序将如何演变。
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