为什么它是必要的,当它来了,仍然需要做些什么。
High-NA EUV将使逻辑扩展至少未来两流程节点。它是复杂的,昂贵的,光学工程的壮举,但有很多组件混合的进步。哈里·莱文森校长石版家HJL光刻,谈论这项技术可能会出现时,仍需要解决什么问题,接下来会发生什么。
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第一个系统,与生产计划于2025年;hyper-NA跟随下一个十年。
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