模拟和测量之间的匹配设计作为可靠的覆盖目标的关键驱动因素


由s . Lozenko b·舒尔茨l . Fuerst c . Hartig m·鲁姆GlobalFoundries和t . Shapoval g . Ben-Dov z Lindenfeld, r . Haupt, r . Wang KLA-Tencor抽象的数值模拟覆盖计量目标已成为先进技术节点的实际标准。虽然适当的仿真软件是广泛使用在工业与指标,允许选取……»阅读更多

在光学叠加计量准确性


巴拉克Bringoltz, Tal Marciano Tal Yaziv, Yaron DeLeeuw,达纳·克莱恩,尤尔胆汁,被罩亚当,总的说来展开磋商,Noga鞍,主席泽Lindenfeld,汤姆英格玛错觉,理说,Eltsafon Ashwal, Dror Alumot和Yuval Lamhot,通过高,詹姆斯万佳,布赖恩•陈和马克瓦格纳。文摘本文我们讨论的机制过程变化确定光的叠加精度m……»阅读更多

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